ASML没有向中国市场推出特别版光刻机

石静清
导读 近日ASML试图规避荷兰新销售的许可禁令,面向中国市场推出一款特别版的DUV光刻机在7月6日的下午ASML这次是作出回应,一直以来公司都严格遵守相关的法律条例。
近日ASML试图规避荷兰新销售的许可禁令,面向中国市场推出一款特别版的DUV光刻机在7月6日的下午ASML这次是作出回应,一直以来公司都严格遵守相关的法律条例,公司目前也没有面向中国市场推出特别版的光刻机。对于此前传言的ASML试图规避荷兰新的销售许可鉴定向中国出售特别版DUV光刻机的事宜予以了否认。在6月30日,荷兰政府就发布了半导体设备出口管制的新规定和近几年以来多个国家的出口新政策比较类似,此次荷兰主要是针对先进制程的芯片制造技术进行着管控。
荷兰政府表示刚刚公布的出口型条例,限制的技术就包括了目前最先进的沉积设备和浸润式的光刻系统。目前禁止出口的原子层沉积设备主要涉及的是碳掺杂硅等外延的生长设备。ASML公司表示,此前 EUV光刻系统也曾经受到过限制。ASML其他的发育并没有受到荷兰政府的管控,其中就包括了荷兰欧盟和美国的出口管治条例。荷兰政府新颁布的出口管制条例将会在2023年的9月份正式生效,在此日期之前ASML还是可以提交出口许可申请,荷兰政府将会根据不同的情况批准或者拒绝这些申请。

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