单晶硅谐振式传感器(关于单晶硅谐振式传感器简介)

方纯纨
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1、 单晶硅谐振式传感器。

2、高性能单晶硅谐振压力传感器,采用电磁激励和电磁拾振方式工作,输出为频率信号,抗干扰能力强,稳定性好,不需A/D转换,既能测量绝压,也能测量差压。

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